半導體設備管理指標模型
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- 資料識別：
- A02001564
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許棟樑 吳振寧 孫銘新
- 主題與關鍵字：
- 半導體設備 設備管理 設備管理模型 標竿比較 Semiconductor equipment Equipment management Equipment management model Benchmarking
- 描述：
- 來源期刊:工業安全科技
- 卷期:42 民91.03
- 頁次:頁35-43
- 日期：
- 20020300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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