SiO[feaf]薄膜的液相沈積技術
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- 資料識別：
- A02014964
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 梁沐旺 陳朝明
- 主題與關鍵字：
- 液相沈積 六氟矽酸 二氧化矽 Liquid phase deposition Fluosilicic acid Silicon dioxide
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:242 民91.06
- 頁次:頁67-73
- 日期：
- 20020600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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