非均溫化學法製備超薄鎳基奈米薄膜
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- 資料識別：
- A08301909
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周育賢(Choua， Yu-hsien) 宋鈺(Sungb， Yuh) 葛明德(Gerc， Ming-der)
- 主題與關鍵字：
- 非均溫化學鍍 鎳基薄膜 積體電路 Nickel-based ultra-thin film Non-isothermal deposition Ultra-large scale integration
- 描述：
- 來源期刊:界面科學會誌
- 卷期:29:3-4 2007.12[民96.12]
- 頁次:頁177-185
- 日期：
- 20071200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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