Developing A New Defect Cluster Index
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- 資料識別：
- A08300818
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡文傑(Tsai， Wen-jie) 唐麗英(Tong， Lee-ing) 王春和(Wang， Chung-ho)
- 主題與關鍵字：
- Wafer Integrated circuit Defect clustering Clustering index 晶圓 積體電路 缺陷點 群聚現象 群聚指標
- 描述：
- 來源期刊:工業工程學刊
- 卷期:25:1 2008.01[民97.01]
- 頁次:頁18-30
- 日期：
- 20080100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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