利用表面原子遷移機制應用於製作矽微奈米光學元件
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- 資料識別：
- A08202149
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李明昌(Lee， M. Ming-chang) 邱威超(Chiu， Wei-chao) 楊哲銘(Yang， Tse-ming) 陳信宏(Chen， Chin-huag)
- 主題與關鍵字：
- 次微米矽光波導 矽微奈米光學元件 矽原子表面遷移
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:29:4=162 2008.02[民97.02]
- 頁次:頁38-44
- 日期：
- 20080200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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