近接曝光於微光學元件開發與應用
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- 資料識別：
- A08002416
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊錫杭(Yang， Hsiharng) 趙振綱(Chao， Ching-Kong) 林宗鴻(Lin， Tsung-Hung)
- 主題與關鍵字：
- 近接曝光 微光學元件 光刻微影術
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:29:3=161 2007.12[民96.12]
- 頁次:頁56-63
- 日期：
- 20071200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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