原子層沉積系統設計概念與應用
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- 資料識別：
- A08002364
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 柯志忠(Kei， Chi-Chung) 林秀芬(Lin， Shiou-Fen) 蕭健男(Hsiao， Chien-Nan)
- 主題與關鍵字：
- 原子層沉積 半導體製程
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:29:1=159 2007.08[民96.08]
- 頁次:頁14-25
- 日期：
- 20070800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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