以原子層化學氣相沉積之高介電薄膜於金氧半場效電晶體的應用
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- 資料識別：
- A08002327
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱彥凱(Chiou， Yan-Kai) 張哲豪(Chang， Che-Hao) 吳泰伯(Wu， Tai-Bor)
- 主題與關鍵字：
- 原子層化學氣相沉積 高介電薄膜 金氧半場效電晶體
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:29:1=159 2007.08[民96.08]
- 頁次:頁6-13
- 日期：
- 20070800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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