磁控濺鍍電漿製程之表面處理設備
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- 資料識別：
- A08087645
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張凱傑 謝志男 楊濟華 李國義
- 主題與關鍵字：
- 磁控濺鍍 電漿表面處理設備 物理氣相沉積設備 批次處理設備 捲式處理設備 Magnetron sputtering Plasma surface treatment equipment PVD Physical vapor deposition Batch type Roll to roll type or web coater
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:304 2008.07[民97.07]
- 頁次:頁82-90
- 日期：
- 20080700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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