New Era for Taiwan's MEMS Industry--CMOS MEMS
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- 資料識別：
- A08083106
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Huang， H. C. Chang， P. Lee， C. K.
- 主題與關鍵字：
- CMOS MEMS Monolithic integration
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:19 2008.08[民97.08]
- 頁次:頁49-52
- 日期：
- 20080800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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