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極紫外光(EUV)微影光阻發展現況
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資料識別:
A08079088
資料類型:
期刊論文
著作者:
鄭秀英
主題與關鍵字:
極紫外光 微影技術 光阻 Extreme ultraviolet EUV Lithography Photoresist
描述:
來源期刊:電子月刊
卷期:14:9=158 2008.09[民97.09]
頁次:頁144-158
日期:
20080900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
鄭秀英(20080900)。[極紫外光(EUV)微影光阻發展現況]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/3c/cc/56.html(2017/03/27瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/3c/cc/56.html
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