現今微機電的技術動向及今後的挑戰
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- 資料識別：
- A08079058
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 前田龍太郎
- 主題與關鍵字：
- 微機電 半導體製程 MEMS Micro electro mechanical system
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:14:7=156 2008.07[民97.07]
- 頁次:頁166-175
- 貢獻者：
- 吳偉琳
- 日期：
- 20080700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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