國內高科技製程尾氣處理設備技術發展現況
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- 資料識別：
- A08079005
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 游生任 李壽南 顏紹儀 許榮男 陳姿名
- 主題與關鍵字：
- 高科技製程 尾氣 尾氣處理 全氟化物 觸媒 腐蝕性氣體 乾式潔淨劑 奈米級微粒 PFCs
- 描述：
- 來源期刊:化工資訊與商情
- 卷期:65 2008.11[民97.11]
- 頁次:頁70-77
- 日期：
- 20081100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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