摻鎵氧化鋅之燒結及薄膜性質研究
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- 資料識別：
- A08078834
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 翁文彬(Weng， Wen-pin) 林廷謙(Lin， Ting-chien)
- 主題與關鍵字：
- 薄膜 摻雜 射頻磁控濺鍍 氧化鎵 氧化鋅 Thin film Doped RF magnetron sputtering Ga₂O₃ ZnO
- 描述：
- 來源期刊:龍華科技大學學報
- 卷期:25 2008.06[民97.06]
- 頁次:頁53-64
- 日期：
- 20080600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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