準分子雷射退火矽膜之凝固速率研究與分析
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- 資料識別：
- A08070759
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， Chil-chyuan)
- 主題與關鍵字：
- 凝固速率 準分子雷射退火 矽膜 Solidification velocity Excimer laser crystallization Silicon thin films
- 描述：
- 來源期刊:建國科大學報
- 卷期:27:4 2008.07[民97.07]
- 頁次:頁13-29
- 日期：
- 20080700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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