熱寫式雷射光束直寫微影技術與應用
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- 資料識別：
- A08065791
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊錦添
- 主題與關鍵字：
- 微影 熱寫式微影 無機光阻 奈米結構 轉印母模 光學繞射極限 Lithography Thermal mode lithography Inorganic resist Nano structure Stamping mold Optical diffraction limit
- 描述：
- 來源期刊:臺灣奈米會刊
- 卷期:13 2008.06[民97.06]
- 頁次:頁31-42
- 日期：
- 20080600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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