薄膜製程中奈米材料在半導體製程之簡介
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- 資料識別：
- A08062971
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 廖怡萱 陳世芳 謝萬燈
- 主題與關鍵字：
- 半導體奈米材料 奈米點 奈米薄膜 Semiconductor nano-materials Nanocrystal Nanodots Nanofilm
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:14:4=153 2008.04[民97.04]
- 頁次:頁154-162
- 日期：
- 20080400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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