不同矽膜厚度與預熱溫度之再結晶特性研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A08060747
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， C. C.)
- 主題與關鍵字：
- 非晶矽膜 熔化時間 準分子雷射退火 預熱 光學檢測 Amorphous silicon Melt duration Excimer laser annealing ELC Substrate heating Optical measurements
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:260 2008.08[民97.08]
- 頁次:頁150-160
- 日期：
- 20080800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
