利用選擇性成長技術在已圖形定義的矽基板上成長奈米結構鍺之研究

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資料識別:
A08056325
資料類型:
期刊論文
著作者:
黃仕強 鄭明欣 羅廣禮 倪衛新
主題與關鍵字:
奈米結構 選擇性磊晶成長 磊晶 超高真空化學氣相沉積系統
描述:
來源期刊:奈米通訊
卷期:15:1 2008.03[民97.03]
頁次:頁18-22
日期:
20080300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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