建立化學機械研磨製程之接觸有限元素模式
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- 資料識別：
- A08053159
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林有鎰(Lin， Yeou-yih) 董彥臣(Dung， Yan-chen)
- 主題與關鍵字：
- 化學機械研磨 二維軸對稱準靜態接觸有限元素模式 Chemical mechanical polishing 2-D axisymmetric quasic-static contact finite element model
- 描述：
- 來源期刊:德霖學報
- 卷期:20 民95.06
- 頁次:頁309-318
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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