簡介大氣電漿技術及產業應用
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- 資料識別：
- A08052931
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉志宏 陳志瑋 張加強 林春宏
- 主題與關鍵字：
- 大氣電漿技術 薄膜沉積 表面改質 光阻灰化 平面顯示器 電鍍前處理 Atmospheric-pressure plasma technology Thin film deposition Surface modification Photoresist stripping Flat panel display Plating pre-treatment
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:262 2007.09[民96.09]
- 頁次:頁94-105
- 日期：
- 20070900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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