LIGA探針卡技術及產業應用
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- 資料識別：
- A08052927
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張復瑜 周敏傑 黃萌祺
- 主題與關鍵字：
- 探針卡 微機電技術 LIGA Probe card MEMS
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:262 2007.09[民96.09]
- 頁次:頁66-75
- 日期：
- 20070900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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