氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究
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- 資料識別：
- A08039171
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 江榮隆(Chiang， Jung-lung) 黃安立(Huang， An-li)
- 主題與關鍵字：
- 射頻濺鍍 氮化鋁 氧化銦錫玻璃 場發射掃描式電子顯微鏡 氯離子 R.f. sputtering AlN ITO glass FE-SEM Chlorine ion
- 描述：
- 來源期刊:科學與工程技術期刊
- 卷期:4:1 2008.03[民97.03]
- 頁次:頁73-79
- 日期：
- 20080300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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