針對奈米級製造之奈米量測技術
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- 資料識別：
- A08036262
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 藤田大介
- 主題與關鍵字：
- 奈米級製造 奈米量測 掃描探針顯微技術 Scanning probe microscope SPM
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:14:1=150 2008.01[民97.01]
- 頁次:頁165-174
- 貢獻者：
- 吳偉琳
- 日期：
- 20080100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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