微元件陽極接合技術
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- 資料識別：
- A08029958
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳順林 楊燦楠 黃科志
- 主題與關鍵字：
- 微元件陽極接合技術 壓力感測器 微機電系統 Micro component anodic bonding technology Pressure sensor Micro electromechanical systems MEMS
- 描述：
- 來源期刊:新新季刊
- 卷期:36:1 2008.01[民97.01]
- 頁次:頁48-55
- 日期：
- 20080100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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