以電子迴旋共振化學氣相沉積法沉積類鑽薄膜之研究
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- 資料識別：
- A08027670
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃勝斌(Hwang， S. B.) 劉治憲(Liu， J. S.)
- 主題與關鍵字：
- 電子迴旋共振 類鑽薄膜 甲烷 ECR-CVD DLC CH₄
- 描述：
- 來源期刊:建國科大學報
- 卷期:27:1 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁27-45
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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