多晶矽薄膜／鋁誘發多晶矽薄膜製備與特性之研究
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- 資料識別：
- A08019966
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 董福慶 王瑞豪 郭政宜 陳家富
- 主題與關鍵字：
- 鋁誘發結晶技術 晶種層 電漿偶合氣相沈積系統 多層接合太陽電池 Aluminum induced crystallization technology Seed layer PECVD Multi-junction solar cell
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:299 2008.02[民97.02]
- 頁次:頁123-126
- 日期：
- 20080200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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