電荷汲引技術(Charge-Pumping Technique)應用於High-κ金氧半電晶體閘介電層內部邊緣缺陷縱深及能量分佈量測
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- 資料識別：
- A08019000
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 呂君章 盧俊源 張廖貴術
- 主題與關鍵字：
- 高介電係數介電材料 界面陷阱 邊緣缺陷 電荷汲引測量
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:10=147 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁149-161
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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