Investigation of ICP Etching of CVD Diamond Film
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- 資料識別：
- A08017495
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 趙崇禮(Chao， Choung-lii) 周文成(Chou， Wen-chen) 簡川于(Chien， Chun-yu) 馬廣仁(Ma， Kung-jenn) 林宏彝(Lin， Hung-yi) 吳東權(Wu， Tung-chuan)
- 主題與關鍵字：
- ICP Atmospheric pressure air plasma CVD diamond film 感應偶合電漿 常壓空氣電漿 CVD多晶鑽石薄膜
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:28:2 2007.04[民96.04]
- 頁次:頁169-174
- 日期：
- 20070400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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