Nitrogen Effect on the Diamond Deposition Processing by 915-MHz Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Reactor
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- 資料識別：
- A08017475
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡宏營(Tsai， Hung-yin) 郭桂林(Kuo， Kei-lin)
- 主題與關鍵字：
- Microwave plasma enhanced Chemical vapor deposition Diamond deposition Nitrogen effect 微波電漿輔助化學氣相法 鑽石薄膜 氮濃度效應
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:28:2 2007.04[民96.04]
- 頁次:頁157-162
- 日期：
- 20070400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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