氧化鋅鋁透明導電膜之製備及其機械性質之研究
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- 資料識別：
- A08013983
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張守一(Chang， Shou-yi) 蕭彥志(Hsiao， Yen-chih) 黃奕中(Huang， Yi-chung)
- 主題與關鍵字：
- 磁控濺鍍 透明導電膜 機械性質 Magnetron sputtering Transparent conducting films Mechanical properties
- 描述：
- 來源期刊:興大工程學刊
- 卷期:18:1 2007.03[民96.03]
- 頁次:頁1-13
- 日期：
- 20070300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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