氣壓對YSZ薄膜成長特性之影響
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A08003316
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃宏欣(Huang， Hong-Hsin) 黃家城(Huang， Chia-Cheng) 劉源興(Liu， Yuan-Shing) 周建廷(Zhou， Jian-Ting)
- 主題與關鍵字：
- 電子束蒸鍍 YSZ薄膜 織構係數 應力 Electron beam evaporation Strain Texture coefficient YSZ thin film
- 描述：
- 來源期刊:正修學報
- 卷期:20 2007.11[民96.11]
- 頁次:頁121-129
- 日期：
- 20071100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
