晶圓上奈米級厚度氧化的銅在酸性液中溶解特性之研究
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- 資料識別：
- A08003171
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊文彬(Yang， W. P.) 劉鳳錦(Liu， F. J.) 何定穎(Ho， T. Y.) 朱錦明(Chu， C. M.)
- 主題與關鍵字：
- 動力學 特性分析 形態 氧化的銅 Kinetics Characterization analysis Morphology Oxidized copper
- 描述：
- 來源期刊:聯大學報
- 卷期:3:1 民95.06
- 頁次:頁16-23
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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