Development of 3D Electron Beam Lithography Fabrication Simulator
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- 資料識別：
- A07089444
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Yeh， Hsiu-ming Chen， Kuo-shen Lin， I-kuan
- 主題與關鍵字：
- Electron beam lithography CAD Cellular automata Micro fabrication
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:10:2 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁167-172
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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