The Design of a FPW Resonator Using the Composite Membrane of PZT Layer and SiN[9058] for Liquid Sensing

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資料識別:
A07089443
資料類型:
期刊論文
著作者:
Yu, Jyh-cheng Lin, Huang-yao
主題與關鍵字:
FPW resonator Acoustic sensor Piezoelectric film PZT Sol-Gel Liquid sensing
描述:
來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
卷期:10:2 2007.06[民96.06]
頁次:頁163-166
日期:
20070600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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