The Design of a FPW Resonator Using the Composite Membrane of PZT Layer and SiN[9058] for Liquid Sensing
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- 資料識別：
- A07089443
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Yu， Jyh-cheng Lin， Huang-yao
- 主題與關鍵字：
- FPW resonator Acoustic sensor Piezoelectric film PZT Sol-Gel Liquid sensing
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:10:2 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁163-166
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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