Investigation of Wet Etching with Surfactant Applied on the Releasing Process of Devices Fabricated by Surface Micro Machining
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A07089437
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Tsai， Chien-chung Huang， Y-cheng Lee， Chia-jung Chien Chang， Chia-ching
- 主題與關鍵字：
- Micro-optics Surface micromachining Wet etching Sacrificial layer
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:10:2 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁155-158
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
