面型微細加工電容式超音波換能器之製作
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- 資料識別：
- A07085559
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王逸萍(Wang， Yih-Ping) 王長志(Wang， Charng-Jyh) 陳明華(Chen， Ming-Hua)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 面型微細加工 電容式超音波換能器 Microelectro mechanical system Surface micromachined Capacitive micromachined ultrasonic transducer cMUT
- 描述：
- 來源期刊:中國海事商業專科學校學報
- 卷期:1:1 民95.03
- 頁次:頁1-16
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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