FMEA應用於降低廠務監控系統運轉風險之探討--以半導體廠氣體化學系統為例
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- 資料識別：
- A07073657
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張榮哲 張翼 戴寶通
- 主題與關鍵字：
- 半導體廠 安全聯鎖系統 廠務監控系統 失效模式與效應分析 Facility monitoring and controlling system FMCS SIS FMEA
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:14:2 2007.07[民96.07]
- 頁次:頁54-62
- 日期：
- 20070700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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