不同矽膜預熱溫度之熔化時間研究與分析
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- 資料識別：
- A07067255
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， Chil-chyuan) 葉文昌(Yeh， Wen-chang) 李箕峰(Lee， Ji-Feng) 鄭正元(Jeng， Jeng-Ywan)
- 主題與關鍵字：
- 矽膜液相持續時間 試片預熱 光學檢測 Melt-phase duration Substrate heating Optical measurements
- 描述：
- 來源期刊:明志學報
- 卷期:39:1 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁19-25
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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