濕式蝕刻釋放以面型微加工共用製程製造之微光學元件的技術探討
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- 資料識別：
- A07066831
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡健忠(Tsai， Chien-Chung) 黃奕澄(Huang， Y-Cheng) 施湘農(Shy， Shannon) 林宗煌(Lin， Zong-Huang) 陳紀佑(Chen， Chi-Yu)
- 主題與關鍵字：
- 面型微加工 微陣列式熱致動器 濕蝕刻 犧牲層 Surface micromachining Micro array thermal actuator Wet etching Sacrificial layer
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:33 2007.07[民96.07]
- 頁次:頁337-348
- 日期：
- 20070700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
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