矽膜再結晶特性光學檢測系統建構與分析
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- 資料識別：
- A07066164
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全
- 主題與關鍵字：
- 矽膜再結晶 光學檢測系統 準分子雷射退火技術 低溫多晶矽 Excimer laser annealing ELA Low temperature polycrystalline silicon LTPS
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:6=143 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁180-200
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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