Mesa Etching Characterization of InSb for High Density Image Array Applications

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資料識別:
A07062007
資料類型:
期刊論文
著作者:
Chang, Kow-Ming Luo, Jiunn-Jye Chiang, Chen-Der Liu, Jacob Kou-Chen
主題與關鍵字:
Mesa step height Mesa etching Etching mechanism Image array
描述:
來源期刊:中國工程學刊
卷期:30:1 2007.01[民96.01]
頁次:頁11-16
日期:
20070100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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