應用於太陽光電薄膜製程之大面積電漿源技術
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- 資料識別：
- A07055363
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張志振 董福慶 黃振榮
- 主題與關鍵字：
- 太陽電池 微波電漿 Solar cell Microwave plasma
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:290 2007.05[民96.05]
- 頁次:頁63-70
- 日期：
- 20070500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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