AlN Films Deposited by RF Magnetron Sputtering Techniques
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- 資料識別：
- A98005860
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 顏伯甫(Yen， Po-fu) 陳冠能(Chen， Kuan-neng) 吳南均(Wu， Nan-chung)
- 主題與關鍵字：
- AlN R.F. magnetron sputtering C-axis preferred orientation 封裝基板材料 射頻磁控濺射法 氮化鋁薄膜
- 描述：
- 來源期刊:Proceedings of the National Science Council. Part A， Physical Science and Engineering
- 卷期:22:2 民87.03
- 頁次:頁225-234
- 日期：
- 19980300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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