Effect of an Inclined Susceptor on the Transport Phenomena in a Horizontal Atmospheric CVD Reactor

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資料識別:
A98001777
資料類型:
期刊論文
著作者:
朱智瑋(Chu, Chih-wei) 李克強(Lee, Eric)
主題與關鍵字:
CVD reator Indined susceptor Simulation 水平式化學蒸鍍反應器 傾斜基板 輸送現象
描述:
來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
卷期:29:2 民87.03
頁次:頁109-120
日期:
19980300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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