Design and Processing of Integrated Micro Accel-Erometers Using Standard CMOS Process
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- 資料識別：
- A97007374
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 戴慶良(Dai， Ching-liang) 呂秀雄(Lu， Shui-shong) 張培仁(Chang， Pei-zen)
- 主題與關鍵字：
- 互補式金氧半導體 感測器 電容式 加速度計 CMOS Sensor Capacitive Accelerometer
- 描述：
- 來源期刊:中國工程學刊
- 卷期:20:1 民86.01
- 頁次:頁47-55
- 日期：
- 19970100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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