氧化效應在銅/鉭/矽基材和銅/鉭/二氧化矽/矽基材之界面反應影響研究
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- 資料識別：
- A00040981
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 殷開明(Yin， Kai-min) 開執中(Kai， Ji-jung) 陳福榮(Chen， Fu-rong)
- 主題與關鍵字：
- 氧化 晶界擴散 擴散障礙層 銅導線製程 穿透式電子顯微鏡 Oxidation Grain-boundary diffusion Diffusion-barrier Cu metallization Transmission electron microscope
- 描述：
- 來源期刊:防蝕工程
- 卷期:14:2 民89.06
- 頁次:頁25-34
- 日期：
- 20000600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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