Collection Efficiency of Metallic Impurities for Vapor Phase Decomposition/Total Reflection X-Ray Fluorescence Analysis
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- 資料識別：
- A00040047
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉博文(Liou， Bor Wen)
- 主題與關鍵字：
- 蒸氣分解法 全反射螢光表面分析儀 半導體工業 微量金屬污染 VPD TXRF
- 描述：
- 來源期刊:吳鳳學報
- 卷期:8 民89.07
- 頁次:頁140-152
- 日期：
- 20000700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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