The Effectiveness of Aluminum Mask for Patterning Semi-Insulating Regions on Si Wafer under MeV Proton Bombardment
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- 資料識別：
- A00021232
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李隆盛(Lee， Lurng-shehng) 李崇仁(Lee， Chung-len) 鄧瑞理(Tang， Denny Duan-lee) 楊清田(Yang， Tsing-tyan) 林立夫(Lin， Li-fu)
- 主題與關鍵字：
- Proton bombardment RF IC Mask Junction leakage Flatband shift Annealing 質子照射 矽晶片 鋁罩 半絕緣體
- 描述：
- 來源期刊:Proceedings of the National Science Council. Part A， Physical Science and Engineering
- 卷期:24:4 民89.07
- 頁次:頁306-309
- 日期：
- 20000700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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