晶圓旋轉夾盤研究與專利分析
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- 資料識別：
- A00018498
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳宏銘
- 主題與關鍵字：
- 旋轉夾盤 單晶圓片 旋轉塗佈 自我清洗 Spin chuck Single wafer Spin coating Self-cleaning
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:233 民89.08
- 頁次:頁54-64
- 日期：
- 20000800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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